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X射線熒光測厚儀（FT160）

FT160主要特點：

1. 高強(qiáng)度X射線 – 儀器的核心所在是全新的毛細(xì)管聚焦光學(xué)系統(tǒng)，其具備的30um光束適合于測量微小的半島體圖案和超小型元件。

2. 最優(yōu)分辨率硅漂移探測器 – 這一高性能裝置使計數(shù)率加倍，確保實施可重復(fù)測量以提高生產(chǎn)力。

3. 大型樣品室門 – 便于操作員裝載和卸載樣品，此外，FT160還具有寬敞的樣品室，以容納各種形狀的樣品，封閉式樣品室也最大限度提高安全性

4. 高清相機(jī) – 樣品觀察相機(jī)的分辨率得到提高 – 且具有16倍數(shù)字變焦功能 – 使半導(dǎo)體表面清晰準(zhǔn)確，從而最大限度地減少失真和重復(fù)測試

5. 全新控制器軟件 – 只需在屏幕上確定最佳測量點，然后運行分析

6. 可確定從鋁（11）到鈾（92）等多種金屬的鍍層厚度

FT160技術(shù)參數(shù)：